半导体学报2002，Vol.23Issue(10)：1116-1120,5.
响应表面法在工艺综合中的应用
Using Response Surface Method for Process Synthesis
鲁勇 1张文俊 1杨之廉1
作者信息
- 1. 清华大学微电子学研究所,北京,100084
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摘要
关键词
响应表面法/多分区响应表面法/工艺综合/MOSPAD/工艺窗口分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
鲁勇,张文俊,杨之廉..响应表面法在工艺综合中的应用[J].半导体学报,2002,23(10):1116-1120,5.
