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a-Si:H/a-SiNx:H超晶格的掺杂效应

王树林 程如光

物理学报Issue(7):1119-1123,5.
物理学报Issue(7):1119-1123,5.

a-Si:H/a-SiNx:H超晶格的掺杂效应

王树林 1程如光1

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王树林,程如光..a-Si:H/a-SiNx:H超晶格的掺杂效应[J].物理学报,1988,(7):1119-1123,5.

物理学报

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