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Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法

王建 李亚文 肖玲 梁竹关 周开邻 李萍 徐晓华 胡问国 Рау З И

数据采集与处理2001，Vol.16Issue(z1)：112-115,4.
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数据采集与处理2001，Vol.16Issue(z1)：112-115,4.

Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法

Application of Lock-in for Method of Lossless Internal Microtomograph Visualization Testing Multilayer IC

王建 1李亚文 2肖玲 1梁竹关 1周开邻 1李萍 2徐晓华 2胡问国 1Рау З И3

作者信息

  • 1. 云南大学物理系,
  • 2. 昆明物理研究所,
  • 3. 俄罗斯科学院微电子研究所
  • 折叠

摘要

关键词

扫描电子显微镜/电子束/非接触无损/显微分层内窥透视检测法/半导体和多层结构集成电路/分层的微结构和缺陷/锁相放大器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王建,李亚文,肖玲,梁竹关,周开邻,李萍,徐晓华,胡问国,Рау З И..Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法[J].数据采集与处理,2001,16(z1):112-115,4.

基金项目

自然科学技术部和国家科学基金委员会资助项目. （）

数据采集与处理

OACSCD

1004-9037

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