传感技术学报2009，Vol.22Issue(8)：1122-1126,5.
非晶硅微测辐射热计热学和力学仿真研究
Simulation of Microbolometers Based on a-Si:H Thin Films with Thermal and Mechanical Performance
摘要
关键词
非晶硅/微测辐射热计/有限元分析/热学性能/力学性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
龚宇光,李伟,蔡海洪,李志,陈超,蒋亚东..非晶硅微测辐射热计热学和力学仿真研究[J].传感技术学报,2009,22(8):1122-1126,5.基金项目
国家自然科学基金重点项目资助(60736005) （60736005）
