半导体学报2007，Vol.28Issue(7)：1130-1133,4.
紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO2光波导器件
Fabrication of Hybrid Sol-Gel SiO2 Optical Waveguide Devices by UV-Light Imprinting
摘要
关键词
溶胶-凝胶/紫外光直写/杂化/光波导分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王玥,吴远大,李建光,安俊明,王红杰,尹小杰,张家顺,胡雄伟..紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO2光波导器件[J].半导体学报,2007,28(7):1130-1133,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(批准号:60507006,60477035) （批准号:60507006,60477035）
