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新型MEMS微针设计及其力学性能

孙潇 贾书海 朱军 李以贵

半导体学报2007，Vol.28Issue(1)：113-116,4.
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半导体学报2007，Vol.28Issue(1)：113-116,4.

新型MEMS微针设计及其力学性能

Design and Mechanical Characteristics of Novel MEMS Microneedles

孙潇 1贾书海 1朱军 2李以贵2

作者信息

  • 1. 西安交通大学理学院,光信息科学与技术系,西安,710049
  • 2. 上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030
  • 折叠

摘要

关键词

微电子机械系统/微针/药物传输/有限元

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

孙潇,贾书海,朱军,李以贵..新型MEMS微针设计及其力学性能[J].半导体学报,2007,28(1):113-116,4.

基金项目

微米纳米加工技术国家重点实验室基金(批准号:51485030105JW0801),教育部新世纪优秀人才支持计划(批准号:NCET-05-0843)和国家自然科学基金(批准号:10477015)资助项目 （批准号:51485030105JW0801）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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