人工晶体学报2005，Vol.34Issue(6)：1132-1136,5.
在Si(100)上以AlN作过渡层低温外延生长ZnO薄膜
Low Temperature Epitaxial Growth of ZnO Films on Si(100) Substrates with AlN Buffer Layers
摘要
关键词
氧化锌薄膜/外延生长/过渡层/光致发光分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙林林,刘宏玉,程文娟,马学鸣,石旺舟..在Si(100)上以AlN作过渡层低温外延生长ZnO薄膜[J].人工晶体学报,2005,34(6):1132-1136,5.基金项目
上海市纳米专项基金资助(No.0352nm009) （No.0352nm009）
