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用于相变存储器的W亚微米管加热电极性能

冯高明刘波吴良才宋志棠封松林陈宝明

半导体学报2007，Vol.28Issue(7)：1134-1138,5.

用于相变存储器的W亚微米管加热电极性能

Properties of W Sub-Microtube Heater Electrode Used for Phase Change Memory

冯高明 ¹刘波 ²吴良才 ¹宋志棠 ¹封松林 ¹陈宝明¹

作者信息

1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,纳米技术实验室,上海,200050
2. 中国科学院研究生院,北京,100049
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摘要

关键词

相变存储器/W亚微米管加热电极/电学性能/疲劳特性

分类

信息技术与安全科学

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冯高明,刘波,吴良才,宋志棠,封松林,陈宝明..用于相变存储器的W亚微米管加热电极性能[J].半导体学报,2007,28(7):1134-1138,5.

基金项目

国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB302700),国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z360),中国科学院(批准号:Y2005027)和上海市科委(批准号:05JC14076,0552nm043,AM0517,06QA14060,06XD14025,0652nm003,06DZ22017)资助项目（批准号:2006CB302700）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1674-4926

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