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快速退火后重掺硼的分子束外延层的电学特性

袁健 陆昉 孙恒慧 卫星 杨敏 黄大鸣 徐宏来 沈鸿烈 邹世昌

ACTA PHYSICA SINICAIssue(7):1137-1143,7.
ACTA PHYSICA SINICAIssue(7):1137-1143,7.

快速退火后重掺硼的分子束外延层的电学特性

袁健 1陆昉 1孙恒慧 1卫星 1杨敏 1黄大鸣 1徐宏来 1沈鸿烈 1邹世昌1

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摘要

关键词

分子束外延/快速退火/电学性质

分类

信息技术与安全科学

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袁健,陆昉,孙恒慧,卫星,杨敏,黄大鸣,徐宏来,沈鸿烈,邹世昌..快速退火后重掺硼的分子束外延层的电学特性[J].ACTA PHYSICA SINICA,1994,(7):1137-1143,7.

ACTA PHYSICA SINICA

OA北大核心CSCD

1000-3290

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