ACTA PHYSICA SINICAIssue(7):1137-1143,7.
快速退火后重掺硼的分子束外延层的电学特性
袁健 1陆昉 1孙恒慧 1卫星 1杨敏 1黄大鸣 1徐宏来 1沈鸿烈 1邹世昌1
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摘要
关键词
分子束外延/快速退火/电学性质分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
袁健,陆昉,孙恒慧,卫星,杨敏,黄大鸣,徐宏来,沈鸿烈,邹世昌..快速退火后重掺硼的分子束外延层的电学特性[J].ACTA PHYSICA SINICA,1994,(7):1137-1143,7.