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深能级杂质Zn对n型硅半导体的补偿特性

蔡志军 巴维真 陈朝阳 崔志明 丛秀云

半导体学报2005,Vol.26Issue(6):1140-1143,4.
半导体学报2005,Vol.26Issue(6):1140-1143,4.

深能级杂质Zn对n型硅半导体的补偿特性

Compensation Characteristics of Deep Energy Level Impurity Zn to n-Type Silicon

蔡志军 1巴维真 1陈朝阳 1崔志明 1丛秀云1

作者信息

  • 1. 中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐,830011
  • 折叠

摘要

关键词

深能级杂质/费米能级/多数载流子/补偿度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

蔡志军,巴维真,陈朝阳,崔志明,丛秀云..深能级杂质Zn对n型硅半导体的补偿特性[J].半导体学报,2005,26(6):1140-1143,4.

基金项目

中国科学院"西部之光"资助项目 ()

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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