电子器件2007，Vol.30Issue(4)：1140-1143,4.
等效表面电荷对台面半导体器件钝化的影响
Influence of Surface Charge on the Passivation of Beveled Semiconductor Device
摘要
关键词
台面半导体器件/钝化/表面空间电荷层/表面耗尽区分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王颖,曹菲,吴春瑜..等效表面电荷对台面半导体器件钝化的影响[J].电子器件,2007,30(4):1140-1143,4.基金项目
哈尔滨工程大学基础研究基金项目资助(002080260727) （002080260727）
