半导体学报2007，Vol.28Issue(7)：1144-1148,5.
一种新型的在线式微波功率传感器
A Novel Inline Type Microwave Power Sensor
摘要
关键词
微波功率/功率传感器/在线式/MEMS/GaAs MMIC工艺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
韩磊,黄庆安,廖小平..一种新型的在线式微波功率传感器[J].半导体学报,2007,28(7):1144-1148,5.基金项目
国家自然科学基金(批准号:60676043)和装备预先研究基金(批准号:51308050202)资助项目 （批准号:60676043）
