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激光烧蚀溅射沉积薄膜的研究现状

宋光乐

原子与分子物理学报2002，Vol.19Issue(1)：115-118,4.
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原子与分子物理学报2002，Vol.19Issue(1)：115-118,4.

激光烧蚀溅射沉积薄膜的研究现状

Thin solid films deposited by pulsed laser ablating spray

宋光乐1

作者信息

  • 1. 山东临沂师范学院物理系,276005
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摘要

关键词

激光烧蚀/溅射沉积/光谱分析/等离子体辐射/固体薄膜

分类

数理科学

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宋光乐..激光烧蚀溅射沉积薄膜的研究现状[J].原子与分子物理学报,2002,19(1):115-118,4.

原子与分子物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-0364

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