光学精密工程2000，Vol.8Issue(2)：115-119,5.
振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿
Calibration of graphic distortion and compensation of exposure for dual galvanometer scanning
万志 1杜温锡1
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- 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所电子印刷工程技术中心,吉林,长春,130021
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万志,杜温锡..振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿[J].光学精密工程,2000,8(2):115-119,5.
