强激光与粒子束2007，Vol.19Issue(7)：1153-1157,5.
大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正
Correction for film thickness uniformity of large aperture optical components
摘要
关键词
大口径光学元件/薄膜/均匀性/修正板/修正分类
机械制造引用本文复制引用
王长军,熊胜明..大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正[J].强激光与粒子束,2007,19(7):1153-1157,5.基金项目
国家863计划项目资助课题 （）
