人工晶体学报2008，Vol.37Issue(5)：1157-1161,5.
微波等离子体同质外延修复金刚石的研究
Study of Homoepitaxy and Repairing Diamond by MPCVD
摘要
关键词
同质外延/金刚石/微波等离子体化学气相沉积分类
化学化工引用本文复制引用
满卫东,谢鹏,吴宇琼,孙蕾,汪建华..微波等离子体同质外延修复金刚石的研究[J].人工晶体学报,2008,37(5):1157-1161,5.基金项目
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助项目(2004) （2004）
湖北省教育厅项目(Q20081505) （Q20081505）
湖北省新型反应器与绿色化学工艺重点实验室资助课题(RGGT200801) （RGGT200801）
