中国机械工程2005，Vol.16Issue(13)：1161-1164,4.
用(110)硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管
A Novel Fabrication of in-Plane Silicon Microneedles Using Structure of Convex Corner in (110) Si-Wafer
摘要
关键词
微米针管/MEMS/各向异性腐蚀/凸角结构/(110)晶面分类
机械制造引用本文复制引用
郑川,徐晓刚,高文秀..用(110)硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管[J].中国机械工程,2005,16(13):1161-1164,4.
