无机材料学报2001，Vol.16Issue(6)：1161-1168,8.
AlN薄膜取向程度与实验参数间的函数关系
Function Relation Formulae Between Experimental Parameters and Preferential Orientation Intensity of AlN Films
许小红 1张富强 1武海顺 1张聪杰 1李佐宜2
作者信息
- 1. 山西师范大学化学系,
- 2. 华中科技大学电子科学与技术系,
- 折叠
摘要
关键词
氮化铝薄膜/实验参数/择优取向/函数关系分类
通用工业技术引用本文复制引用
许小红,张富强,武海顺,张聪杰,李佐宜..AlN薄膜取向程度与实验参数间的函数关系[J].无机材料学报,2001,16(6):1161-1168,8.
