影像科学与光化学2008，Vol.26Issue(2)：116-124,9.
水溶性负性光致抗蚀剂的研制
Preparation of Water-Soluble Negative Photoresist
单英敏 1曹瑞军 1高颖 1刘毅1
作者信息
- 1. 西安交通大学,理学院应用化学系,陕西,西安,710049
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摘要
关键词
丙烯酰胺-双丙酮丙烯酰胺共聚物/聚乙烯吡咯烷酮/水溶性负性光致抗蚀剂分类
化学化工引用本文复制引用
单英敏,曹瑞军,高颖,刘毅..水溶性负性光致抗蚀剂的研制[J].影像科学与光化学,2008,26(2):116-124,9.
