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半导体学报
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差示光谱法测定硅中的氧和碳
差示光谱法测定硅中的氧和碳
许振嘉
江德生
宋春英
孙伯康
刘江夏
半导体学报
Issue(2)：117,1.
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半导体学报
Issue(2)
：117,1.
差示光谱法测定硅中的氧和碳
许振嘉
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宋春英
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许振嘉,江德生,宋春英,孙伯康,刘江夏..差示光谱法测定硅中的氧和碳[J].半导体学报,1981,(2):117,1.
半导体学报
ISSN：
1674-4926
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