人工晶体学报2005，Vol.34Issue(6)：1171-1173,3.
常规退火与光退火固相晶化的对比
Comparison of the Solid-phase Crystallization between Conventional Furnace Annealing and Pulsed Rapid Thermal Method
靳锐敏 1卢景霄 1王海燕 1张丽伟 1王生钊 1刘萍 1王红娟1
作者信息
- 1. 郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052
- 折叠
摘要
关键词
PECVD法/非晶硅薄膜/传统退火炉子/光退火/晶粒大小/拉曼光谱/XRD/SEM分类
数理科学引用本文复制引用
靳锐敏,卢景霄,王海燕,张丽伟,王生钊,刘萍,王红娟..常规退火与光退火固相晶化的对比[J].人工晶体学报,2005,34(6):1171-1173,3.
