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多晶硅表面绒面的制备及优化

郎芳刘伟孙小娟王志国张红妹

电气技术Issue(8)：117-119,3.

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电气技术Issue(8)：117-119,3.

多晶硅表面绒面的制备及优化

Improvement of Texture on MC Wafer Surface

郎芳 ¹刘伟 ¹孙小娟 ¹王志国 ¹张红妹¹

作者信息

1. 英利绿色能源控股有限公司,河北,保定,071051
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摘要

关键词

多晶硅/酸腐蚀/表面绒面/最优化

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郎芳,刘伟,孙小娟,王志国,张红妹..多晶硅表面绒面的制备及优化[J].电气技术,2009,(8):117-119,3.

电气技术

ISSN：1673-3800

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