电子器件2002，Vol.25Issue(2)：117-120,4.
振梁式负压传感器
Resonant Microcantilever Subatmospheric Press Sensor
摘要
关键词
微悬臂梁/负压传感器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
韩建强,朱长纯,刘君华,魏培永..振梁式负压传感器[J].电子器件,2002,25(2):117-120,4.基金项目
国家自然科学基金(60036016,50077016),教育部博士点基金(98069828)资助项目 （60036016,50077016）
