|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|半导体学报|一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析

一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析

吴旭明 王小东 何国荣 王青 曹玉莲 谭满清

半导体学报2007，Vol.28Issue(1)：117-121,5.
✕
半导体学报2007，Vol.28Issue(1)：117-121,5.

一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析

Design and Analysis of a Long Wavelength MOEMS Tunable Filter

吴旭明 1王小东 1何国荣 2王青 2曹玉莲 2谭满清1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083
  • 2. 中国科学院半导体研究所,纳米光电子实验室,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

微光机电系统/调谐/滤波器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

吴旭明,王小东,何国荣,王青,曹玉莲,谭满清..一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析[J].半导体学报,2007,28(1):117-121,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(批准号:50632060) （批准号:50632060）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文