强激光与粒子束2003,Vol.15Issue(12):1175-1180,6.
氧化物激光薄膜的离子束溅射制备技术
Technology of the high laser reflectivity oxide coatings deposition by ion-beam sputtering
摘要
关键词
离子束溅射/厚度均匀性/激光高反射薄膜/增透膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
申林,熊胜明,刘洪祥,李凌辉,张云洞..氧化物激光薄膜的离子束溅射制备技术[J].强激光与粒子束,2003,15(12):1175-1180,6.基金项目
国家863计划项目资助课题 ()