计量学报2006,Vol.27Issue(z1):118-122,5.
具有高空间分辨力的位相型光瞳滤波式差动共焦测量法
A Phase-only Pupil Filtering Approach to Higher Spatial Resolutions in a Laser Probe Measurement System
摘要
关键词
计量学/超分辨/共焦/光瞳滤波器/位相型光瞳分类
通用工业技术引用本文复制引用
邱丽荣,赵维谦,沙定国..具有高空间分辨力的位相型光瞳滤波式差动共焦测量法[J].计量学报,2006,27(z1):118-122,5.基金项目
国家自然科学基金(50475035) (50475035)
高等学校博士学科点专项科研基金(20050213035) (20050213035)
新世纪优秀人才支持计划(NECT-05-034) (NECT-05-034)