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具有高空间分辨力的位相型光瞳滤波式差动共焦测量法

邱丽荣 赵维谦 沙定国

计量学报2006,Vol.27Issue(z1):118-122,5.
计量学报2006,Vol.27Issue(z1):118-122,5.

具有高空间分辨力的位相型光瞳滤波式差动共焦测量法

A Phase-only Pupil Filtering Approach to Higher Spatial Resolutions in a Laser Probe Measurement System

邱丽荣 1赵维谦 2沙定国1

作者信息

  • 1. 北京理工大学信息科学技术学院,北京,100081
  • 2. 哈尔滨工业大学自动化测试与控制工程系,黑龙江,哈尔滨,150001
  • 折叠

摘要

关键词

计量学/超分辨/共焦/光瞳滤波器/位相型光瞳

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

邱丽荣,赵维谦,沙定国..具有高空间分辨力的位相型光瞳滤波式差动共焦测量法[J].计量学报,2006,27(z1):118-122,5.

基金项目

国家自然科学基金(50475035) (50475035)

高等学校博士学科点专项科研基金(20050213035) (20050213035)

新世纪优秀人才支持计划(NECT-05-034) (NECT-05-034)

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

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