电子器件2006，Vol.29Issue(4)：1182-1186,5.
基于力学描述的MEMS器件行为模拟方法
The Method of Behavioral Simulation Based on Mechanical Description for MEMS Devices
张健 1李伟华 1聂萌1
作者信息
- 1. 东南大学,MEMS教育部重点实验室,南京,210096
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摘要
关键词
MEMS设计方法学/行为模拟/力学描述/反馈/直流稳态分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张健,李伟华,聂萌..基于力学描述的MEMS器件行为模拟方法[J].电子器件,2006,29(4):1182-1186,5.
