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基于四象限探测器的掩模版对准检测与控制

汪建华 徐德 刘云 赵晓光 王秀青 谭民

传感技术学报2007，Vol.20Issue(5)：1188-1192,5.
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传感技术学报2007，Vol.20Issue(5)：1188-1192,5.

基于四象限探测器的掩模版对准检测与控制

Measure and Control for IC Mask Alignment Based on Quadrant Detectors

汪建华 1徐德 2刘云 1赵晓光 1王秀青 2谭民1

作者信息

  • 1. 中国科学院自动化研究所复杂系统与智能科学实验室,北京,100080
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100049
  • 折叠

摘要

关键词

四象限探测器/对准/检测与控制/掩模版

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

汪建华,徐德,刘云,赵晓光,王秀青,谭民..基于四象限探测器的掩模版对准检测与控制[J].传感技术学报,2007,20(5):1188-1192,5.

基金项目

国家863计划项目资助(2004AA420040) （2004AA420040）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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