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采用CCD器件的半导体材料应力测试仪的研制

周端 杨银堂

光学精密工程Issue(4)：119,1.
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光学精密工程Issue(4)：119,1.

采用CCD器件的半导体材料应力测试仪的研制

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周端,杨银堂..采用CCD器件的半导体材料应力测试仪的研制[J].光学精密工程,1997,(4):119,1.

光学精密工程

OACSCD

1004-924X

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