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用光热偏转谱拟合计算研究非晶硅缺陷态及其稳定性

朱美芳 罗光明

电子学报Issue(2)：119,1.
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电子学报Issue(2)：119,1.

用光热偏转谱拟合计算研究非晶硅缺陷态及其稳定性

朱美芳 1罗光明1

作者信息

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摘要

关键词

非晶硅缺陷/光热偏转/稳定性/半导体薄膜技术

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

朱美芳,罗光明..用光热偏转谱拟合计算研究非晶硅缺陷态及其稳定性[J].电子学报,1996,(2):119,1.

基金项目

国家自然科学基金委基金 （）

电子学报

OA北大核心CSCD

0372-2112

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