半导体学报2005,Vol.26Issue(6):1191-1196,6.
一种基于非平衡态格林函数的准三维FinFET模型
A Qusi-3D Model for a FinFET Device Based on the NEGF Method
摘要
关键词
非平衡态格林函数/量子力学效应/超薄沟道/三维/数值模拟/FinFET分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邵雪,余志平..一种基于非平衡态格林函数的准三维FinFET模型[J].半导体学报,2005,26(6):1191-1196,6.基金项目
国家重点基础研究发展规划资助项目(批准号:G200036502) (批准号:G200036502)