辽宁大学学报（自然科学版）2003，Vol.30Issue(2)：119-122,4.
椭偏光谱测量匀质膜光学特性的计算分析
Spectral Ellipsometer Data Processing and Analyzing for Homosphere Film Measurement
韩宇 1宋丽丽 1唐奇1
作者信息
- 1. 辽宁大学物理系,辽宁,沈阳,110036
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摘要
关键词
椭圆偏振光谱仪/薄膜测厚/程序设计/数据处理分类
数理科学引用本文复制引用
韩宇,宋丽丽,唐奇..椭偏光谱测量匀质膜光学特性的计算分析[J].辽宁大学学报（自然科学版）,2003,30(2):119-122,4.
