现代电子技术2005，Vol.28Issue(24)：1-2,4,3.
ICP源MOSFET射频振荡器
RF Oscillator with MOSFET for ICP Source
刘平 1张悦英 1王洋1
作者信息
- 1. 郑州大学,信息工程学院,河南,郑州,450052
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摘要
关键词
ICP/MOSFET/射频振荡器/等离子体分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘平,张悦英,王洋..ICP源MOSFET射频振荡器[J].现代电子技术,2005,28(24):1-2,4,3.
