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电磁型平面微电机及其制作工艺

郭占社 吴一辉 宣明 王淑荣

光学精密工程2003，Vol.11Issue(2)：120-124,5.
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光学精密工程2003，Vol.11Issue(2)：120-124,5.

电磁型平面微电机及其制作工艺

Electro-magnetic planar micromotor and its fabrication

郭占社 1吴一辉 1宣明 1王淑荣1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022
  • 折叠

摘要

关键词

平面微电机/LIGA工艺

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郭占社,吴一辉,宣明,王淑荣..电磁型平面微电机及其制作工艺[J].光学精密工程,2003,11(2):120-124,5.

基金项目

国家973资助项目(No.G1999033102) （No.G1999033102）

光学精密工程

OACSCDCSTPCD

1004-924X

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