西安电子科技大学学报（自然科学版）2001，Vol.28Issue(1)：120-124,5.
高温半导体压力传感器技术
Study of the high temperature semiconductor pressure sensor
摘要
Abstract
The application and the development of high temperaturesemiconductor pressure sensor are overviewed. Its principle, key techniques, and the characteristics are compared and discussed, with emphasis on the introduction of some new types of SiC high temperature pressure sensor.关键词
高温/压力传感器/碳化硅分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
韩小亮,朱作云,李跃进..高温半导体压力传感器技术[J].西安电子科技大学学报（自然科学版）,2001,28(1):120-124,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目 （）
