计量学报2005，Vol.26Issue(2)：120-124,5.
使用AFM测量纳米尺度线宽的不确定度研究
Uncertainty in Nano- scale Linewidth Measurements Using Atomic Force Microscope
摘要
关键词
计量学/纳米线宽/测量不确定度/原子力显微镜分类
通用工业技术引用本文复制引用
褚巍,赵学增,王凌,肖增文,李洪波..使用AFM测量纳米尺度线宽的不确定度研究[J].计量学报,2005,26(2):120-124,5.基金项目
哈尔滨工业大学校科研基金 （）
