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基于FET结构的Pt-LaF3混合膜溶解氧传感器

那兴波 牛文成 李华伟 谢建湘

半导体学报2001,Vol.22Issue(9):1202-1206,5.
半导体学报2001,Vol.22Issue(9):1202-1206,5.

基于FET结构的Pt-LaF3混合膜溶解氧传感器

Pt-LaF3 Mixture Film Dissolved Oxygen Sensor Based on FET Structure

那兴波 1牛文成 1李华伟 1谢建湘1

作者信息

  • 1. 南开大学信息技术科学学院,
  • 折叠

摘要

关键词

FET结构/Pt-LaF3混合膜/溶解氧传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

那兴波,牛文成,李华伟,谢建湘..基于FET结构的Pt-LaF3混合膜溶解氧传感器[J].半导体学报,2001,22(9):1202-1206,5.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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