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反应溅射法制备铝掺杂氧化锆薄膜及其热稳定性的研究

马春雨 李智 张庆瑜

无机材料学报2007，Vol.22Issue(6)：1206-1210,5.
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无机材料学报2007，Vol.22Issue(6)：1206-1210,5.

反应溅射法制备铝掺杂氧化锆薄膜及其热稳定性的研究

Thermal Stability of Al-doped ZrO2 Films Prepared by Reactive RF Magnetron Sputtering

马春雨 1李智 2张庆瑜1

作者信息

  • 1. 大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,大连,116023
  • 2. 大连大学,机械工程学院,大连,116622
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摘要

关键词

薄膜物理学/铝掺杂氧化锆薄膜/磁控溅射/热稳定性

分类

数理科学

引用本文复制引用

马春雨,李智,张庆瑜..反应溅射法制备铝掺杂氧化锆薄膜及其热稳定性的研究[J].无机材料学报,2007,22(6):1206-1210,5.

基金项目

国家自然科学基金(10605009) （10605009）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-324X

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