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SiGe/Si HBT发射结的寄生势垒及其对器件室温和低温特性的影响

徐晨 沈光地 陈建新 邹德恕 李建军 罗辑 魏欢 周静 董欣

半导体学报2000,Vol.21Issue(12):1208-1213,6.
半导体学报2000,Vol.21Issue(12):1208-1213,6.

SiGe/Si HBT发射结的寄生势垒及其对器件室温和低温特性的影响

Parasitic Barrier in Emitter-Base Junction and Its Effects on Performance of SiGe/Si HBT at Both Room Temperature and Low Temperature

徐晨 1沈光地 1陈建新 1邹德恕 1李建军 1罗辑 1魏欢 1周静 1董欣1

作者信息

  • 1. 北京工业大学电子工程系北京市光电子技术实验室,北京,100022
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摘要

关键词

SiGe HBT/寄生势垒/杂质偏析/低温

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

徐晨,沈光地,陈建新,邹德恕,李建军,罗辑,魏欢,周静,董欣..SiGe/Si HBT发射结的寄生势垒及其对器件室温和低温特性的影响[J].半导体学报,2000,21(12):1208-1213,6.

基金项目

国家"863"计划:No.863-307-105-4(06),国家自然科学基金:No.69876004,国家自然科学基金重大项目:No 698 96260-06,北京市科委高技术重点项目和北京市自然科学基金:No.4962005资助项目[Project Sup-pored by High-Technology (863) Research and Development Program of China (No. 863-307-105-4(06)) ,by National Natural Scienc (06)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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