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用椭圆偏光法研究硅中砷离子注入的损伤和退火效应
用椭圆偏光法研究硅中砷离子注入的损伤和退火效应
莫党
卢因诚
李旦晖
刘尚合
卢武星
物理学报
Issue(9)：1214-1216,3.
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物理学报
Issue(9)
：1214-1216,3.
用椭圆偏光法研究硅中砷离子注入的损伤和退火效应
莫党
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卢因诚
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李旦晖
1
刘尚合
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莫党,卢因诚,李旦晖,刘尚合,卢武星..用椭圆偏光法研究硅中砷离子注入的损伤和退火效应[J].物理学报,1980,(9):1214-1216,3.
物理学报
ISSN：
1000-3290
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