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电子学报
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高频溅射SiO2膜掩蔽GaAs和AlGaAs/GaAs中Zn扩散的研究
高频溅射SiO2膜掩蔽GaAs和AlGaAs/GaAs中Zn扩散的研究
王雷
电子学报
Issue(4)：122,1.
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电子学报
Issue(4)
：122,1.
高频溅射SiO2膜掩蔽GaAs和AlGaAs/GaAs中Zn扩散的研究
王雷
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摘要
关键词
SiO2膜
/
溅射
/
GaAs
/
GaAs／GaAs
/
Zn
分类
信息技术与安全科学
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王雷..高频溅射SiO2膜掩蔽GaAs和AlGaAs/GaAs中Zn扩散的研究[J].电子学报,1990,(4):122,1.
电子学报
OA
CSCD
ISSN：
0372-2112
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