中国机械工程2005，Vol.16Issue(14)：1226-1228,1232,4.
MEMS器件微装配系统的设计与研制
Design and Development of MEMS Assembly System
摘要
关键词
微装配/MEMS/显微视觉/作业工具分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈立国,孙立宁,荣伟彬,谢晖..MEMS器件微装配系统的设计与研制[J].中国机械工程,2005,16(14):1226-1228,1232,4.基金项目
国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA404450) （2002AA404450）
国防基础研究项目(k1401060130) （k1401060130）
