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等离子体淀积氢化纳米锗的阳极氢覆盖率的影响

皮尔 徐骏 李伟 陈坤基 王广厚 冯端

南京大学学报(自然科学版)2000,Vol.36Issue(1):123-124,2.
南京大学学报(自然科学版)2000,Vol.36Issue(1):123-124,2.

等离子体淀积氢化纳米锗的阳极氢覆盖率的影响

ROLE OF HYDROGEN SURFACE COVERAGE AT ANODE IN PLASMA DEPOSITION OF nc-Ge:H

皮尔 1徐骏 1李伟 1陈坤基 1王广厚 1冯端1

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摘要

关键词

纳米锗/覆盖率/等离子体淀积/氢化纳米锗/阳极

分类

化学化工

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皮尔,徐骏,李伟,陈坤基,王广厚,冯端..等离子体淀积氢化纳米锗的阳极氢覆盖率的影响[J].南京大学学报(自然科学版),2000,36(1):123-124,2.

南京大学学报(自然科学版)

OACSTPCD

0469-5097

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