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镍诱导纳米晶硅薄膜的生长

冯嘉猷 何悦 毕磊

江苏大学学报(自然科学版)2007,Vol.28Issue(2):123-126,4.
江苏大学学报(自然科学版)2007,Vol.28Issue(2):123-126,4.

镍诱导纳米晶硅薄膜的生长

Research on nickel induced silicon nanocrystal growth

冯嘉猷 1何悦 1毕磊1

作者信息

  • 1. 清华大学,材料科学与工程系,北京,100084
  • 折叠

摘要

关键词

纳米晶硅/金属镍诱导/薄膜/光致发光/磁控溅射/分相

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

冯嘉猷,何悦,毕磊..镍诱导纳米晶硅薄膜的生长[J].江苏大学学报(自然科学版),2007,28(2):123-126,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(50571050) (50571050)

江苏大学学报(自然科学版)

OACSTPCD

1671-7775

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