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碳纳米管聚合物复合膜的等离子刻蚀研究

杜招红 曾效舒

人工晶体学报2008，Vol.37Issue(5)：1233-1236,4.
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人工晶体学报2008，Vol.37Issue(5)：1233-1236,4.

碳纳米管聚合物复合膜的等离子刻蚀研究

Plasma Etching of Carbon Nanotubes/polymer Composite Films

杜招红 1曾效舒2

作者信息

  • 1. 南昌大学材料科学与工程学院,南昌,330031
  • 2. 南昌大学机电学院,南昌,330031
  • 折叠

摘要

关键词

等离子刻蚀/碳纳米管聚合物复合膜/电阻

分类

数理科学

引用本文复制引用

杜招红,曾效舒..碳纳米管聚合物复合膜的等离子刻蚀研究[J].人工晶体学报,2008,37(5):1233-1236,4.

基金项目

江西省2006年科技厅工业攻关项目(No.S0004) （No.S0004）

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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