光学精密工程2007，Vol.15Issue(8)：1235-1240,6.
φ300 mm干涉仪参考镜的设计及测试
Design and test of reference mirror in φ300 mm interferometer
摘要
关键词
应用光学/大口径干涉仪/参考镜/镜面支承/有限元法分类
机械制造引用本文复制引用
武旭华,陈磊,王磊..φ300 mm干涉仪参考镜的设计及测试[J].光学精密工程,2007,15(8):1235-1240,6.基金项目
江苏省"六大人才高峰"资助项目(No.06-E-030) （No.06-E-030）
