光学精密工程2008，Vol.16Issue(7)：1241-1246,6.
激光共焦扫描显微镜在微机电系统中的应用
Application of laser scanning confocal microscope in micro-electro-mechanical system
摘要
关键词
激光共焦扫描显微镜/微机电系统/角度测量/形貌分析/图形拼接分类
机械制造引用本文复制引用
曾毅波,蒋书森,黄彩虹,张玉龙,张艳..激光共焦扫描显微镜在微机电系统中的应用[J].光学精密工程,2008,16(7):1241-1246,6.基金项目
厦门大学科技创新预研基金资助项目(No.Y07002) （No.Y07002）
