现代制造工程Issue(1)：124-127,52,5.
超精密工作台控制方案的优化选择
The control method optimum selection of ultraprecision stage
尹东星 1林彬 1张晓峰1
作者信息
- 1. 天津大学机械学院先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津,300072
- 折叠
摘要
关键词
超精密工作台/PID控制/双环反馈/层次分析法分类
机械制造引用本文复制引用
尹东星,林彬,张晓峰..超精密工作台控制方案的优化选择[J].现代制造工程,2007,(1):124-127,52,5.
