物理学报2004，Vol.53Issue(4)：1243-1246,4.
基于透射谱的GaN薄膜厚度测量
Thickness measurement of GaN film based on transmission spectra
摘要
关键词
GaN/透射谱/厚度测量分类
数理科学引用本文复制引用
张进城,郝跃,李培咸,范隆,冯倩..基于透射谱的GaN薄膜厚度测量[J].物理学报,2004,53(4):1243-1246,4.基金项目
国防预研项目(批准号:415010701)和国家重点基础研究发展规划(批准号:2002CB3119)资助的课题. （批准号:415010701）
