中国机械工程2005，Vol.16Issue(14)：1243-1247,5.
一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声器研制
A Micro-machined Condenser Microphone with Polysilicon Diaphragm
摘要
关键词
电容式传声器/MEMS器件/多晶硅薄膜/磷硅玻璃牺牲层分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
乔东海,田静,徐联,汪承灏..一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声器研制[J].中国机械工程,2005,16(14):1243-1247,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(10474114) （10474114）
